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Safety & Accessories
Interlock Bellows
製品の概要
Interlock Bellowsは、CVDやEtchingなど薄膜形成装置のPump～Scrubber区間に使用する配管用Bellowsで、独自のInterlock構造によって腐食防止、耐久性向上、高温環境での安定性を実現しました。内部の流体を乱流からLaminar Flow(層流)状態に誘導して酸化物の累積を防ぎ、高温ガスと化学物質からBellowsを保護します
主な特徴
- Interlock構造を適用して乱流を防止、及び耐腐食・耐熱性を強化
- Flexible Tube器具の併用により振動吸収と柔軟な設置が可能
- 異物と化学粉末の堆積を最小化、内部腐食を抑制して長寿命を確保
- 高温遮断機能により外部での火傷と災害を予防
- 平坦な内部面構造により気体の流れが円滑で破損を防止
- SUS304 / SUS316L / SUS316Ti / SUS321など様々な材質に対応
