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Safety & Accessories
Interlock Bellows
제품 개요
Interlock Bellows는 CVD, Etching 등 박막 형성 장비의 Pump~Scrubber 구간에 사용하는 배관용 Bellows로, 독자적인 Interlock 구조를 통해 부식 방지, 내구성 향상, 고온 환경 안정성을 실현했습니다. 내부 유체를 난류에서 Laminar Flow 형태로 유도하여 산화물 누적을 방지하고, 고온 가스 및 화학물질로부터 Bellows를 보호합니다.
주요특징
- Interlock 구조 적용으로 난류 방지 및 내부식·내열성 강화
- Flexible Tube 기구 병용으로 진동 흡수 및 유연한 설치 가능
- 이물질 및 화학분말 퇴적 최소화, 내부 부식 억제로 긴 수명 확보
- 고온 차단 기능으로 외부 화상 및 재해 예방
- 평탄한 내부면 구조로 기체 흐름이 원활하고 파손 방지
- SUS304 / SUS316L / SUS316Ti / SUS321 등 다양한 재질 대응
