Interlock Bellows是一种用于CVD、Etching等薄膜沉积设备的Pump-Scrubber段的管道Bellows，通过其独创的Interlock结构设计，提升耐蚀性及耐久性，实现高温环境稳定性。该波纹管通过引导内部流体从湍流变成Laminar Flow状态，有效防止氧化物沉积，并在高温气体及化学物质环境中保护Bellows。